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當前位置:
佰巍工程為半導體行業提供氮氣氫氣現場混配系統

佰巍工程為半導體行業提供氮氣氫氣現場混配系統

2023-07-13 11:21

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1. 客戶需求:


序號

氣站種類

氣體流量大小

壓力大小

1

N2站

平均1000Nm3/HR峰值1100Nm3/HR

0.8MPa

2

H2站

平均67Nm3/HR峰值80Nm3/HR

0.8MPa

3

90%N2+10%H2混配站

500Nm3/HR

0.6MPa


2. 方案描述:

2.1 氮氣站采用50立方/1.6MPa儲罐存儲低溫液態氮氣,低溫液態氮氣經過氣化器氣化,氣化后的氣態氮氣經過調壓閥調壓,調壓后的氣體經過過濾器過濾以后進入客戶氮氣管網。液氮貯罐配備了液位變送系統,確保能夠實時監控用氣庫存及現場設備的安全狀態。液位管理系統確保客戶在任何時候都擁有至少48小時的用氣庫存,并依據客戶的安全氮氣管理要求,定制安全氮氣液位的信號輸出及報警功能。


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2.2 氫氣站采用氫氣長管作為主供應氣源,采用集裝格作為備用氣源,高壓氣源經過二級減壓后進入精密過濾器過濾,過濾后的潔凈氫氣進入混配系統管網。系統做氣體泄漏報警監測、氮氣吹掃系統、排空系統等。(管道交接口為出氣站一米)

系統安裝雙路2級調壓的氫氣配送系統,可實現后備集裝箱與氫氣魚雷管車的無縫切換,從而極大地保證了現場供氣的可靠性。系統上安裝遠程壓力變送系統,從而可以實時了解客戶用氣庫存情況以及現場設備的安全狀態。

氫氣站布置宜遵循如下原則:

?   距離圍墻5米;

?   距離廠內主要道路10米;

?   距離廠房(I、Ⅱ類防火等級的廠房15米;

?   氫氣魚雷管車的轉彎半徑應不少于12米;

?   氮氣站可以緊鄰氫氣站設置;

?   在氫氣站與氮氣站之間,可以布置氫氮預混氣站。


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3. 設計亮點:

3.1 氫氣魚雷車、集裝格互為備用匯流排系統;

3.2 氮氣置換系統,確保操作安全和質量控制;

3.3 專業設計的帶阻火器的放散系統;

3.4 量身定做的控制閥組;

3.5 專門設計的操作面板防止誤操作;

3.6 采用兩級雙路調壓系統;

3.7 采用雙路調壓系統設計使得供應可靠性得到提高;

3.8 兩級調壓使得壓力輸出更精確;

3.9 能夠實現備用魚雷管車的半自動切換。


4. 材料

氮氣站減壓后管道、管件、閥門、氫氣站管件、管道、閥門采用SS316L BA級材料,氫氣站電氣元件采用防爆電氣。


5. 壓力監控報警系統

根據系統特點,設置壓力檢測點,將壓力信號送至儀控箱,同時,可根據用戶需求將信號傳至現場中控中心。


6. 泄漏報警系統

現場設置氫氣探測器,同時配備報警控制箱,現場聲光報警,遇到緊急情況切斷氫氣管道,同時可將信號傳至現場中控中心。


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7. 混配系統

混配站系統0.8MPa的氮氣和氫氣進入氣體混配器,經過混配后的氣體調壓為0.6MPa氣體進入氣體管網。配置自動切換系統,根據需求自動切換或手動切換混配站前、后端管路設置壓力監控點,實時了解客戶用氣壓力以及現場設備的安全狀態。


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